หน่วยในการวัด ของเครื่องมือวัด 3 มิตินี้ เป็นหน่วยวัดในด้าน Dimension เป็นหลักเช่น mm. (มิลลิเมตร), um. (ไมครอน) ประเภทของเครื่องมือวัด 3 มิติ (CMM) แบ่งได้เป็น 2 ประเภทหลักด้วยกัน คือ แบบไม่สัมผัส และแบบสัมผัส ประเภทแรกเครื่อง CMM แบบไม่สัมผัส ในปัจจุบันนี้ภาคอุตสาหกรรมนั้น ชิ้นส่วนมีขนาดเล็กลงมาก และมีความละเอียดสูงขึ้น เครื่องมือวัดสามมิติแบบไม่สัมผัสจะใช้วิธียิงเลเซอร์สแกนวัดค่าชิ้นงาน ซึ่งมีความเม่นยำสูง จึงมีความต้องการจากตลาดมากขึ้นแต่ข้อเสียคือราคาค่อนข้างสูง